数字量MEMS气体传感器是通过数字信号来对气体浓度进行探测的气体检测仪器,该仪器利用MEMS技术在SI基衬底上制作微热板,气敏材料采用的是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时,数字量MEMS气体传感器的电导率发生变化,该气体的浓度越高,气体传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。广泛适用于各类气体检测仪的生产安装,以及各类气体检测的场合和设备上。
1、微型化设计
产品体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短,表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。
2、高度集成
可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,形成微传感器阵列、微执行器阵列。
3、高/低温工作适应性好
产品功耗低,工作时基本没有热辐射,不影响周边温度湿度检测。
工作电压(VCC):3.3V
工作电流:≤25mA
最大加热功率:30mW
加热电压(VDD):1.4V
输出方式:I2C从机模式
默认地址:0x54
I2C速率:10- 100kbps
上拉电阻:需外置上拉电阻
预热时间:30s
响应时间:≤60S
典型精度:20%读数