MEMS乙醇气体传感器是利用MEMS工艺来检测环境中乙醇气体浓度的气体检测仪。MEMS乙醇气体传感器的微热板是采用MEMS工艺制作,并以在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料作为气敏材料。该乙醇传感器功耗低,工作时基本没有热辐射,不影响周边温度湿度检测。适用于除恶劣环境外检测乙醇气体浓度的场合。
检测气体:乙醇
乙醇测量范围:0-500ppm
乙醇测量灵敏度S:RO/RS≥2
乙醇浓度斜率a:≤0.9
回路电压Vc:≤24V DC
加热电压VH:2.8V士0.1V AVorDC
负载电阻RL:可调
加热电阻RH:80Ω土20Ω(室温)
加热功耗PH:≤80mW
敏感体电阻Rs:1KΩ~30KΩ
温度:20°C士2°C
湿度:55%RH土5%RH